穿过电科装备北京烁科中科信公司制造中心的风淋系统，整条离子注入机研制产线映入眼帘，一台台设备完成装配调试后，输送至各集成电路先进产线，参与“中国芯”制造。

　　北京烁科中科信自成立之日起，就以攻克离子注入装备关键技术瓶颈，支撑我国电子元器件制造工艺装备自立自强为主责，以离子注入机装备研发与产业化为主业，全力保障我国产业链供应链安全与稳定，成功入选第五批国家级专精特新“小巨人”企业培育名单。

　　离子注入机的工作原理是通过电磁场控制高速运动的离子，按照工艺要求以精准方式完成注入。概念虽仅有短短一句话，但其难度不亚于以飞机的速度一次成功地完成侧方位停车，因此，对离子注入机的综合性能要求极为严格。

　　“设备研制毫无经验可循，攻关过程是一场孤军奋战的战役，纵是如此，我们也要一往无前。”离子注入机研发团队负责人表示。

从“0”到全系列

　　2003年，一群意气风发的青年变身“背包客”，坐上绿皮车远赴他乡，扎根北京，投身离子注入机事业。经历了“摸着石头过河”的艰辛，突破了艰苦创业的困境，取得技术研发的成果。我国第一台国产中束流离子注入整机于2008年研制成功，实现从“0”到“1”的突破。

　　团队愈战愈勇，连续突破了离子源、离子束传输与控制等五大关键技术，攻克了离子注入机的技术瓶颈，完成了第三代化合物半导体离子注入机及大束流离子注入机研制，2021年，成功将高能离子注入机交付产线，形成了全系列国产离子注入机产品格局，实现国产离子注入装备的自主创新发展。

从“0”到全覆盖

　　“28纳米几乎是注入工艺中最为经典、较为复杂的制程，也是注入工序中需求最多及生命周期最长的节点。”

       为保障我国集成电路产线需求，北京烁科中科信向28纳米工艺节点发起挑战，不仅要突破该节点，还要实现全系列产品工艺全覆盖。

　　“28纳米工艺对注入角度、注入剂量精度有严格要求，注入期间，设备软硬件要紧密配合，需根据不同注入区域实时对注入剂量进行调整，稍有偏颇，良率将达不到产线要求。”

　　由于厂内设备无法真实模拟出产线注片环境，只能在客户端进行测试，攻关期间，工艺工程师和设备工程师轮番24小时驻守客户端，只为将最新测试数据及时传输，通过数据分析，对剂量和角度进行一遍又一遍地调整。

　　现下，北京烁科中科信中束流及大束流设备均已达成工艺指标，且工艺水准经过了先进集成电路产线验证，两种设备产线晶圆制备累计超过2000万片。高能离子注入机作为刚上线不久的兆伏级设备同样打通了28纳米节点，且与同类型设备相比，能量范围更宽、注入均一性能更好。

　　从仅有十余人的小组，到如今人才济济的庞大团队，北京烁科中科信一往无前的初心从未改变，正通过模组式交付方式让装备制造提速，以科学的科研体系使研发流程规范，通过与市场接轨提升装备品质，让更多电科制造的离子注入机服务于“中国芯”制造，切实保障我国集成电路制造行业在成熟和先进制程领域的生产安全，为中国半导体产业高速发展赋能。